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多束系統
JIB-4000PLUS 聚焦離子束加工觀察系統配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。 被加速的鎵離子束經聚焦照射樣品后,能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨、及碳和鎢等沉積。還可以為TEM制備薄...
隨著先進材料構造的微細化和制造過程的復雜化,形貌觀察、元素分析和晶體分析等的評估技術也對分辨率和精度有了更高的要求。為了滿足這些需求,JEOL推出新一代雙束加工觀察系統...